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クリーンルーム

最先端技術の高度化・新進性を切り開くミクロ技術。
無塵・調温湿環境のクリーンルームが支えます。

エレクトロニクス、バイオテクノロジー、新素材など、最先端分野においてはミクロ技術の安定化が成功の鍵を握るといえます。三菱重工冷熱は、クリーンルームの核となる無塵・無菌技術に、温度、湿度、圧力、気流分布などの制御技術を応用し、スーパークリーンルームを始め、各分野の最先端技術ニーズに応じて様々なタイプのクリーンルームを提供しています。基礎技術研究から製品開発、製造工程まで、幅広い用途にお使いいただけます。

スーパークリーンルーム

ナノレベルでの無塵・無菌環境により、分子レベルでコントロール可能に

三菱重工冷熱では、JIS規格最高レベル・クラス1を達成するスーパークリーンルームを実現、ナノレベルの技術開発により、半導体の集積度の飛躍的向上など、あらたな技術開発環境を支えます。

スーパークリーンルーム

インダストリアルクリーンルーム

半導体産業の微細化技術とともに発展

塵埃、温度、湿度、圧力、気流分布なども制御します。部屋の中央を通路とし、両側を作業所としたクリーントンネル方式が多く採用されています。
他にも、精密機器組立工場に最適なプレハブ方式や塵埃だけでなく臭気や煙等の発生する特殊機器製造工場用などがあります。

LSI工場:クリーントンネル方式クリーンルーム LSI工場:クリーントンネル方式クリーンルーム

 

バイオハザードクリーンルーム

動物実験棟や安全実験室の感染対策に

日本におけるバイオハザード対策の歴史は浅く、ラッサ熱病、マーブルグ病などの危険な病原体や遺伝子組み換えに携わる研究者への感染防止が重要な問題になっており、研究開発が進められています。三菱重工冷熱は他社に先駆け、バイオハザードルーム対策設備の開発・施工を手がけています。

動物飼育室:バイオクリーンルーム(GLP対策) 動物飼育室:バイオクリーンルーム(GLP対策)

 

クリーンルーム 概略図

半導体工場クリーンルーム(クリーントンネル方式)

半導体工場クリーンルーム(クリーントンネル方式)

動物飼育室バイオクリーンルーム(GLP)

動物飼育室バイオクリーンルーム(GLP)

バイオハザード対策設備(P3)

バイオハザード対策設備(P3)

 
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